CKD喜開理 微型流量傳感器

日本CKD 微型流量傳感器 FSM-V-AH3-R0100-M5

這是一款用于壓縮空氣和氮氣的超小型流量傳感器。

由于其重量輕和響應速度快，因此非常適合檢查電子元件的吸附情況。

產(chǎn)品特點：

● 使用硅微加工的鉑金傳感器芯片

● 新提出的整流機構實現(xiàn)了的緊湊和高速響應 

● 熱流量傳感器可以安裝在測量部件附近的運動部件的，可用于檢查電子元件作為一個系統(tǒng)的吸附和檢查泄漏

● Rapi Flow（R）

工業(yè)：

半導體制造工藝（后端工藝）

CKD喜開理 微型流量傳感器

規(guī)格尺寸：

類型：流量傳感器

輸出方式：NPN 集電極開路

流量范圍（最大）：[小于 ~10] 1 L/min

管道開口的類型：一鍵式配件

閥體材質：樹脂

傳感器監(jiān)視器結構：分離式/連接器連接

輸出數(shù)量：2

輸入數(shù)量：1

流體的種類：空氣/氮氣

耐壓：0.3MPa

流速的類型：低流速

工作溫度范圍：0~50°C

電源電壓的類型：直流

電源電壓：12~24V

連接管直徑：4

流向：雙向

配件類型：直徑?4/一鍵式

電纜：3m帶引線

引線輸出方向：L型

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